薄膜沉積控制儀的輸入端口可采集高低電平、電壓、電流等信號,同時(shí)端口還復(fù)用輸出資源,輸出為DOH,3A,可直接驅(qū)動電磁閥,該產(chǎn)品還具有高防護(hù)等級、小體積、高集成度、高響應(yīng)速度等優(yōu)點(diǎn)。在沒有流體流經(jīng)流量管時(shí),流量管由安裝在流量管端部的電磁驅(qū)動線圈驅(qū)動,其振幅小于1mm,頻率約為80Hz,流體流入流量管時(shí)被強(qiáng)制接受流量管的上下垂直運(yùn)動。在流量管向上振動的半個周期內(nèi),流體反抗管子向上運(yùn)動而對流量管施加一個向下的力;反之,流出流量管的流體對流量管施加一個向上的力以反抗管子向下運(yùn)動而使其垂直動量減少。這便導(dǎo)致流量管產(chǎn)生扭曲,在振動的另外半個周期,流量管向下振動,扭曲方向則相反。
由于溫度影響流管鋼性,科氏力產(chǎn)生的扭曲量也將受溫度影響。被測量的流量不斷由變送器調(diào)整,后者隨時(shí)檢測粘在流管外表上的鉑電阻溫度計(jì)輸出。變送器用一個三相的電阻溫度計(jì)電橋放大電路來測量傳感器溫度,放大器的輸出電壓轉(zhuǎn)化成頻率,并由計(jì)數(shù)器數(shù)字化后讀入微處理器。每一臺傳感器生產(chǎn)好后振動管本身的質(zhì)量就確定了,薄膜沉積控制儀的振動管中介質(zhì)的質(zhì)量是介質(zhì)密度與振動管體積的乘積,而振動管的體積對每種口徑的傳感器來說是固定的,因此振動頻率直接與密度有相應(yīng)的關(guān)系,那么,對于確定結(jié)構(gòu)和材料的傳感器,介質(zhì)的密度可以通過測量流量管的諧振頻率獲得,抽空管道、送氣管道等與真空室相連接的管道,采用圓弧過渡,使氣路暢通無阻,但要考慮清洗清掃的方便性。